用于快速热处理、热氧化处理、高温退火的设备
快速退火炉是利用卤素红外灯作为热源，通过极快地升温速率，将晶圆或者材料快速地加热到300℃-1200℃，从而消除晶圆或者材料内部地一些缺陷，改善产品性能。
快速退火炉采用先进的微电脑控制系统，采用PID闭环控制温度，可以达到极高的控温精度和温度均匀性，并且可配置真空腔体，也可根据用户工艺需求配置多路气体。